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Ni–P electroless on nonconductive substrates as metal deposition process for MEMS fabrication

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作者

Reza Askari Moghadam,Hassan Saffari,Javad Koohsorkhi

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2020-06-13 卷期号：27 (1): 79-86 被引量：10

标识

DOI：10.1007/s00542-020-04912-8

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