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A cross-scale honeycomb architecture-based flexible piezoresistive sensor for multiscale pressure perception and fine-grained identification

压阻效应 蜂巢 材料科学 比例(比率) 压力传感器 纳米尺度 鉴定(生物学) 声学 纳米技术 计算机科学 复合材料 光电子学 机械工程 工程类 物理 生物 量子力学 植物
作者
Chenxi Lu,Yuan Gao,Xiaoao Chan,Wei Yu,Haifeng Wang,Liang Hu,Lingwei Li
出处
期刊:Materials horizons [Royal Society of Chemistry]
卷期号:11 (2): 510-518 被引量:41
标识
DOI:10.1039/d3mh01387a
摘要

Trade-off between sensitivity and the pressure sensing range remains a great challenge for flexible pressure sensors. Micro-nano surface structure-based sensors usually show high sensitivity only in a limited pressure regime, while porous structure-based sensors possess a broad pressure-response range with sensitivity being sacrificed. Here, we report a design strategy based on a cross-scale architecture consisting of a microscale tip and macroscale base, which provides continuous deformation ability over a broad pressure regime (10-4-104 kPa). The cross-scale honeycomb architecture (CHA)-based piezoresistive sensor exhibits an excellent sensitivity over a wide pressure range (0.5 Pa-0.56 kPa: S1 ∼ 27.97 kPa-1; 0.56-20.40 kPa: S2 ∼ 2.30 kPa-1; 20.40-460 kPa: S3 ∼ 0.13 kPa-1). As a result, the CHA-based sensor shows multiscale pressure perception and fine-grained identification ability from 0.5 Pa to 40 MPa. Additionally, the cross-scale architecture will be a general structure to design other types of sensors for highly sensitive pressure perception in a wide pressure range and its unit size from microscale to macroscale is beneficial for large-scale preparation, compared with micro-nano surface structures or internal pores.
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