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Reducing surface pits of thick 4H-SiC epilayers by in-situ post-treatment process
材料科学
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作者
Zhifei Zhao,
Yi Wang,
Yun Li,
Rui Xiong,
Teng Zhang,
Yue Cao,
Long Kong,
Haitao Jiang,
Ping Han
出处
期刊：
Materials today communications
[Elsevier BV]
日期：2025-07-15
卷期号：48: 113312-113312
标识
DOI：10.1016/j.mtcomm.2025.113312
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