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Numerical Study on Different Shapes of Heat Shields in Continuous Czochralski Silicon
材料科学
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直拉法
隔热板
光电子学
电磁屏蔽
作者
Wenjia Su,
Ruilin Guo,
Jiaqi Li,
Yanshuo Zhang,
Zhiqiang Zhang
出处
期刊：
Silicon
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-02-28
卷期号：17 (5): 1153-1163
被引量：3
标识
DOI：10.1007/s12633-025-03253-3
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