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Influence of nitrogen doping concentration on mechanical properties of 4H-SiC: A comparative study of C and Si faces
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作者
Yafei Kong,
Xinyu Xie,
Yuanchao Huang,
Weixing Rao,
Xiaodong Pi,
Deren Yang,
Lingmao Xu
出处
期刊:
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期:2025-03-31
卷期号:698: 163111-163111
被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.163111
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