Investigation of the Impact of 10 nm High-κ SrTiO3 Gate Dielectric on the Performance of β-Ga2O3 Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors

材料科学 光电子学 电介质 场效应晶体管 金属 晶体管 氧化物 半导体 栅极电介质 高-κ电介质 电气工程 冶金 工程类 电压
作者
Madani Labed,Dae Haa Ryu,Jang Hyeok Park,Hyunbin Chung,Taekjib Choi,You Seung Rim
出处
期刊:ACS applied electronic materials [American Chemical Society]
卷期号:7 (6): 2413-2423 被引量:1
标识
DOI:10.1021/acsaelm.4c02221
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