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Etching of TiO2 nanopillar arrays by nanosphere lithography for broadband infrared antireflection applications
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作者
Bei Zhang,
Xincun Peng,
Luhao Yang,
Ji‐Jun Zou,
Chenyang Li,
Chaoyan Zhong,
Siyuan Liu,
Linlin Jiang,
Wenjuan Deng,
Zhuming Liu,
Liangliang Tang
出处
期刊：
Infrared Physics & Technology
[Elsevier BV]
日期：2022-12-06
卷期号：128: 104500-104500
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.infrared.2022.104500
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