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In-situ annealing characterization of atomic-layer-deposited Al2O3 in N2, H2 and vacuum atmospheres

退火（玻璃）钝化无定形固体材料科学结晶腐蚀薄膜化学工程原位图层（电子）冶金纳米技术结晶学化学有机化学工程类

作者

Mikael Broas,Jori Lemettinen,Timo Sajavaara,Markku Tilli,Vesa Vuorinen,Sami Suihkonen,Mervi Paulasto‐Kröckel

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2019-03-12 卷期号：682: 147-155 被引量：7

链接

urn.fi aalto.fidoi.org

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2019.03.010

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