In-situ annealing characterization of atomic-layer-deposited Al2O3 in N2, H2 and vacuum atmospheres

退火(玻璃) 钝化 无定形固体 材料科学 结晶 腐蚀 薄膜 化学工程 原位 图层(电子) 冶金 纳米技术 结晶学 化学 工程类 有机化学
作者
Mikael Broas,Jori Lemettinen,Timo Sajavaara,Markku Tilli,Vesa Vuorinen,Sami Suihkonen,Mervi Paulasto‐Kröckel
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:682: 147-155 被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2019.03.010
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