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Chemical vapor deposition of clean and pure MoS2 crystals by the inhibition of MoO3−x intermediates

化学气相沉积 硫黄 过饱和度 沉积(地质) 材料科学 分析化学(期刊) 无机化学 化学 结晶学 纳米技术 冶金 有机化学 沉积物 生物 古生物学
作者
Ran Guan,Junxi Duan,Aiheng Yuan,Zhuofan Wang,Shuai Yang,Luoqiao Han,Bo Zhang,Dejun Li,Birong Luo
出处
期刊:CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
卷期号:23 (1): 146-152 被引量:15
标识
DOI:10.1039/d0ce01354d
摘要

A sublimated sulfur vapor versus evaporated MoO3 vapor with transition from low to high sulfur supersaturation would cause different CVD products transformed from MoS2–MoO3−x composites to clean and pure MoS2 crystals accordingly.

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