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Calibration of Non Linear Properties of Pb(Zr, Ti)O3Cantilever Using Integrated Piezoresistive Sensor for High Speed Atomic Force Microscopy

作者
Hyo‐Jin Nam,Young Sik Kim,Seong-Moon Cho,Caroline Sunyong Lee,Jong‐Uk Bu,Jaewan Hong,Zheong-Gu Khim
出处
期刊：Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
日期：2002-11-30 卷期号：41 (Part 1, No. 11B): 7153-7157 被引量：11
标识
DOI：10.1143/jjap.41.7153
摘要
Calibration of Non Linear Properties of Pb(Zr, Ti)O3 Cantilever Using Integrated Piezoresistive Sensor for High Speed Atomic Force Microscopy, Nam, Hyo-Jin, Kim, Young-Sik, Cho, Seong-Moon, Lee, Caroline Sunyong, Bu, Jong-Uk, Hong, Jae-Wan, Khim, Zheong-Gu
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