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Optical and structural properties of silicon oxynitride deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

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作者
Julien Dupuis,Erwann Fourmond,D. Ballutaud,N. Bérerd,M. Lemiti
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2010-09-30 卷期号：519 (4): 1325-1333 被引量：42
链接
in2p3.fr in2p3.fr in2p3.fr in2p3.hal.science in2p3.frdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2010.09.036
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