Improving stability of amorphous silicon using chemical annealing with helium

退火(玻璃) 材料科学 微观结构 无定形固体 化学稳定性 硅 惰性 氢 氦 非晶硅 离子注入 化学工程 光电子学 分析化学(期刊) 离子 复合材料 结晶学 化学 晶体硅 有机化学 工程类 色谱法
作者
Nanlin Wang,Vikram L. Dalal
出处
期刊:Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
卷期号:352 (9-20): 1937-1940 被引量:17
标识
DOI:10.1016/j.jnoncrysol.2006.02.033
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