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Structure and composition of TixAl1−xN thin films sputter deposited using a composite metallic target

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作者
Jean‐Yves Rauch,Christophe Rousselot,Nicolas Martin
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:157 (2-3): 138-143 被引量:71
标识
DOI:10.1016/s0257-8972(02)00146-9
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