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Computational fluid dynamics modeling of spatial atomic layer deposition on microgroove substrates

图层（电子）沉积（地质）材料科学原子层沉积纳米技术地质学沉积物古生物学

作者

Zoushuang Li,Kun Cao,Xiaobo Li,Rong Chen

出处

期刊：International Journal of Heat and Mass Transfer [Elsevier BV]
日期：2021-08-23 卷期号：181: 121854-121854 被引量：25

标识

DOI：10.1016/j.ijheatmasstransfer.2021.121854

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