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Computational fluid dynamics modeling of spatial atomic layer deposition on microgroove substrates
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作者
Zoushuang Li,
Kun Cao,
Xiaobo Li,
Rong Chen
出处
期刊：
International Journal of Heat and Mass Transfer
[Elsevier]
日期：2021-08-23
卷期号：181: 121854-121854
被引量：25
标识
DOI：10.1016/j.ijheatmasstransfer.2021.121854
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