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Influence of the carbon incorporation on the mechanical properties of TiB2 thin films prepared by HiPIMS

材料科学 X射线光电子能谱 高功率脉冲磁控溅射 纳米压痕 微观结构 溅射沉积 碳纤维 扫描电子显微镜 薄膜 钛 化学工程 碳膜 化学气相沉积 复合材料 溅射 冶金 纳米技术 复合数 工程类
作者
N. Sala,M.D. Abad,J.C. Sánchez-López,Ferran Crugeira,A. Ramos-Masana,Carles Colominas
出处
期刊：International Journal of Refractory Metals & Hard Materials [Elsevier BV]
日期：2022-05-10 卷期号：107: 105884-105884 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.ijrmhm.2022.105884
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