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Surface reaction of silicon chlorides during atomic layer deposition of silicon nitride
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作者
Luchana L. Yusup,
Jaemin Park,
Tirta Rona Mayangsari,
Young‐Kyun Kwon,
Won‐Jun Lee
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2017-06-07
卷期号：432: 127-131
被引量：37
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2017.06.060
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