Scalable fabrication and electrical contact formation process for vertically oriented silicon nanopillars in trenches

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作者
Jitendra Kumar,Sarang Ingole
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:122: 105470-105470 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2020.105470

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