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作者
Yohei Sato,
Chao Tang,
Katsuya Watanabe,
Mayu Nakajima,
Takuya Yamamoto,
Nobuki Tezuka,
Tadao Tanabe,
Yutaka Oyama
出处
期刊：
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期：2021-02-16
卷期号：50 (5): 2649-2655
标识
DOI：10.1007/s11664-020-08689-4
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