Molecular structure impacts of tetrazole derivatives on their diffusion and adsorption behaviors for microvia copper void-free filling

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作者
Jiaqiang Yang,Jiang-Peng Qiu,Lei Jin,Zhao‐Yun Wang,Tao Song,Yi Zhao,Xiaohui Yang,Jun Cheng,Fang‐Zu Yang,Dongping Zhan
出处
期刊:Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
卷期号:44: 103679-103679 被引量:17
标识
DOI:10.1016/j.surfin.2023.103679
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