Laser assisted diamond turning of silicon freeform surface

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作者
Kaiyuan You,Guangyu Liu,Wei Wang,Fengzhou Fang
出处
期刊:Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
卷期号:322: 118172-118172 被引量:22
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2023.118172
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