Nanoscale surface roughness measurement based on frequency-domain interferometry principle

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作者
Qiukun Zhang,Wenxuan Wang,Jialu Zhong,Jiewen Lin,Jinguo Chen,Manting Luo,Yingjie Yu
出处
期刊:Optics and Lasers in Engineering [Elsevier BV]
卷期号:178: 108247-108247 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.optlaseng.2024.108247

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