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Recent advances in synthesis of ceria nanoparticles and applications in chemical mechanical polishing

抛光材料科学化学机械平面化纳米技术纳米颗粒薄脆饼氧化物氧化铈原子力显微镜冶金纳米-

作者

Hao Dong,Zhao-Yuan Zhang,Song-Pei Yang,Wei Yuan,Ling-Dong Sun,Chun-Hua Yan

出处

期刊：Journal of Rare Earths [Elsevier BV]
日期：2026-02-13 卷期号：44 (5): 1303-1316 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.jre.2026.02.015

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