Effects of Composition and Ozone Treatment on the Electrical Performance and Stability of ALD Indium Gallium Oxide TFTs

材料科学 臭氧 光电子学 作文(语言) 氧化物 化学工程 氧化镓 薄膜晶体管 氧化铟锡 理论(学习稳定性) 无机化学 电子工程 宽禁带半导体 逻辑门 电阻率和电导率 还原(数学)
作者
Henglong Yang,Yixiao Li,Guan-Han Lin,Yen‐Ju Chen,Yan-Kui Liang,Chien-Wei Chen,Tsung-Te Chou,Chi-Chung Kei,H. Y. Huang,Feng-Cheng Yang,Y F Lin,Chun-Hsiung Lin
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-8
标识
DOI:10.1109/ted.2025.3650731
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