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High energy ion implantation

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作者

J. F. Ziegler

出处

期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
日期：1985-01-01 卷期号：6 (1-2): 270-282 被引量：145

标识

DOI：10.1016/0168-583x(85)90645-7

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