Hyperdoping of Si by ion implantation and pulsed laser melting

材料科学 掺杂剂 离子注入 脉冲激光器 杂质 退火(玻璃) 激光器 离子 光电子学 带隙 兴奋剂 分析化学(期刊) 光学 冶金 化学 物理 有机化学 色谱法
作者
Wenjie Yang,Jay Mathews,J. S. Williams
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
卷期号:62: 103-114 被引量:41
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2016.11.005

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