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Profile-Aided Subaperture Stitching Algorithm for the Measurement of Microlens Array Optics by Coherence Scanning Interferometry

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作者
Jun Guo,Yijun Shen,Xi Wang,Lingwen Tan,Rong Su,Mingjun Ren
出处
期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01 卷期号：74: 1-13 被引量：1
标识
DOI：10.1109/tim.2025.3545205
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