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Silicon pressure transducer with differential sensitive element based on transverse electromotive force effect

传感器 振膜（声学） 压力传感器 材料科学 非线性系统 声学 电压 压阻效应 应变计 横截面 物理 电气工程 振动 工程类 光电子学 机械工程 结构工程 复合材料 量子力学
作者
I. P. Zhad'Ko,G. G. Babichev,S. I. Kozlovskiy,В. А. Романов,N. N. Sharan,E.A Zinchenko
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2001-05-01 卷期号：90 (1-2): 89-95 被引量：9
标识
DOI：10.1016/s0924-4247(01)00458-7
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