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Growth of GaAs epitaxial layers prepared in the laboratory with an integrated safety MOCVD system
作者
Tetsuji Imai,
Shunro Fuke,
Katsumi Mori,
Kazuhiro Kuwahara
出处
期刊:
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期:1988-09-01
卷期号:33-34: 587-593
被引量:5
标识
DOI:10.1016/0169-4332(88)90356-x
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