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Non-destructive study of the ion-implantation-affected zone (the long-range effect) in titanium nitride

材料科学 离子注入 残余应力 离子 钛 氮化物 位错 正电子湮没谱学 衍射 分析化学（期刊） 复合材料 冶金 正电子 光学 正电子湮没 化学 有机化学 电子 物理 量子力学 图层（电子） 色谱法
作者
A.J. Perry,James R. Treglio,J.P. Schaffer,J. Brunner,V. Valvoda,David Rafaja
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：1994-08-01 卷期号：66 (1-3): 377-383 被引量：20
标识
DOI：10.1016/0257-8972(94)90034-5
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