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Conformal dielectric films on silicon nanowire arrays by plasma enhanced chemical vapor deposition

作者

Jody A. Fronheiser,Joleyn Balch,Loucas Tsakalakos

出处

期刊：Journal of Nanoparticle Research [Springer Science+Business Media]
日期：2008-04-15 卷期号：10 (6): 955-963 被引量：3

标识

DOI：10.1007/s11051-008-9381-4

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