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A high-resolution monolithically integrated piezoresistive MEMS two-axis force/torque sensor and packaging method

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作者
Xincheng Zhu,Xueliang Wang,Cong Lin,Jiahao Miao,Yang Zhong,Zhanxuan Zhou,Xiaomei Yu
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2025-11-06 卷期号：397: 117246-117246 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.sna.2025.117246
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