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Uniqueness of High Power Impulse Magnetron Sputtering in Ionized Physical Vapor Deposition
作者
Tetsuhide Shimizu
出处
期刊：Journal of The Surface Finishing Society of Japan
[The Surface Finishing Society of Japan]
日期：2017-12-01
卷期号：68 (12): 712-717
被引量：2
链接
go.jp
doi.org
标识
DOI：10.4139/sfj.68.712
摘要
本稿では，HiPIMS 技術の 特徴を簡単に紹介した上で，他の I-PVD プロセスにはない HiPIMS 技術の特有性について，HiPIMS プラズマの過渡現 象に基づいたプロセス制御の柔軟性の視点から概況していく
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