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作者
O.A. Sinitskaya,
Talgat Shugabaev,
Alexey Kuznetsov,
K. Yu. Shubina,
Vladislav O. Gridchin,
A. M. Mizerov,
A V Uvarov,
Vyacheslav Pozdeev,
K. P. Kotlyar,
R.R. Reznik,
Alexey D. Bolshakov,
G. É. Cirlin,
E.V. Nikitina
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2025-06-06
卷期号：198: 109737-109737
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109737
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