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Research progress of quantum dot photolithography patterning and direct photolithography application

光刻 量子点 纳米技术 计算光刻 材料科学 平版印刷术 光电子学 抵抗 多重图案 图层（电子）
作者
Zhong Chen,Yu Li,Zhongwei Man,Aiwei Tang
出处
期刊：Nano Research [Springer Science+Business Media]
日期：2024-08-24 卷期号：17 (12): 10386-10411 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s12274-024-6896-7
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