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Quasi-Static Electric Field Sensing Characteristics of Al/SiO₂/IDT/LiNbO₃ Surface Acoustic Wave Devices

声表面波电场材料科学声表面波传感器物理声学表面波声波声学光电子学光学物理量子力学

作者

Caihua Xu,Min Zhu,Zhirong Liu,Hu Zhang,Long Deng,Yurun Chen,Liqiang Xie,Qiliang Yang,Haitao Zhang,Jianchun Xing

出处

期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-08-01 卷期号：24 (18): 28634-28640 被引量：1

标识

DOI：10.1109/jsen.2024.3432663

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