Quasi-Static Electric Field Sensing Characteristics of Al/SiO₂/IDT/LiNbO₃ Surface Acoustic Wave Devices

声表面波 电场 材料科学 声表面波传感器 物理声学 表面波 声波 声学 光电子学 光学 物理 量子力学
作者
Caihua Xu,Min Zhu,Zhirong Liu,Hu Zhang,Long Deng,Yurun Chen,Liqiang Xie,Qiliang Yang,Haitao Zhang,Jianchun Xing
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [IEEE Sensors Council]
卷期号:24 (18): 28634-28640 被引量:1
标识
DOI:10.1109/jsen.2024.3432663
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