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The relationship between annealing and nitrogen flow ratios during magnetron sputtering of AlN films

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作者

Yaqi Han,Hui Zhang,Xinjian Xie,Zefeng Liu,Kangqi Geng,Yun Yang,Yushuo Zhang,Guifeng Chen

出处

期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2023-01-16 卷期号：129 (2) 被引量：3

标识

DOI：10.1007/s00339-022-06311-4

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