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作者
Yang Gao,
Kang Yang,
Jianzhi Li,
Chi Fai Cheung,
Feng Gong
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier BV]
日期:2024-11-04
卷期号:91: 587-600
被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2024.11.001
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