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Investigation of performance enhancement of a recessed gate field-plated AlGaN/AlN/GaN nano-HEMT on β-Ga2O3 substrate with variation of AlN spacer layer thickness
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作者
G. Purnachandra Rao,
Trupti Ranjan Lenka,
Nour El I. Boukortt,
Sharif Md. Sadaf,
Hieu Pham Trung Nguyen
出处
期刊：
Journal of Materials Science: Materials in Electronics
[Springer Science+Business Media]
日期：2023-06-01
卷期号：34 (18)
被引量：13
标识
DOI：10.1007/s10854-023-10867-z
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