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Low-temperature rough-surface wafer bonding with aluminum nitride ceramics implemented by capillary and oxidation actions

材料科学 陶瓷 氮化硅 直接结合 晶片键合 抛光 退火（玻璃） 氮化物 烧结 表面粗糙度 热压连接 薄脆饼 复合材料 阳极连接 氮化铝 铝 纳米技术 图层（电子）
作者
Shao-Ming Nien,Jian‐Long Ruan,Yang-Kuao Kuo,T. -H. Lee
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2022-01-17 卷期号：48 (6): 8766-8772 被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2022.01.131
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