Low-Temperature Layer-by-Layer Epitaxy of Ferroelectric Al 0.63 Sc 0.37 N Thin Films for Back-End-of-Line Integration

已完结

文献求助详情

标题	Low-Temperature Layer-by-Layer Epitaxy of Ferroelectric Al 0.63 Sc 0.37 N Thin Films for Back-End-of-Line Integration 相关领域材料科学矫顽力铁电性薄膜外延脉冲激光沉积光电子学 X射线光电子能谱氮化物非易失性存储器金属有机气相外延纤锌矿晶体结构极化（电化学）纳米技术分子束外延场效应晶体管化学气相沉积
网址	https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.5c04014
DOI	10.1021/acs.nanolett.5c04014 doi
其它	期刊：Nano Letters 作者：Chao Li; Dirui Wu; Mingqiang Cheng; Shuhua Ma; Zihao Lin; et al 出版日期：2025-11-05
求助人	Sean 在 2026-03-22 12:59:58 发布自河北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

National Center for Biotechnology Information

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: iman完成签到，获得积分10

5秒前; ablerHope上传了应助文件

5秒前; 郭濹涵完成签到，获得积分10

17秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

38秒前; 周振东发布了新的文献求助30

45秒前; benjho发布了新的文献求助10

50秒前; TsuKe完成签到，获得积分10

1分钟前; 今后上传了应助文件

1分钟前; 懒洋洋发布了新的文献求助10

1分钟前; 123456完成签到，获得积分10

1分钟前; 丘比特上传了应助文件

1分钟前; xzhang55发布了新的文献求助10

1分钟前; maggiexjl完成签到，获得积分10

1分钟前; 周振东关注了科研通微信公众号

2分钟前; 细心的如天完成签到，获得积分10

3分钟前; ding的应助被执笔曦倾年采纳，获得10

3分钟前; 蛋卷完成签到，获得积分10

3分钟前; ding上传了应助文件

3分钟前; 执笔曦倾年发布了新的文献求助10

3分钟前; ninini完成签到，获得积分10

3分钟前; 执笔曦倾年完成签到，获得积分10

3分钟前; Autin完成签到，获得积分10

4分钟前; mzhang2完成签到，获得积分10

4分钟前; benjho完成签到，获得积分10

4分钟前; 小苏完成签到，获得积分10

5分钟前; molihuakai上传了应助文件

5分钟前; 小苏发布了新的文献求助10

5分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

5分钟前; 李木禾完成签到，获得积分10

5分钟前; CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; Jasper的应助被十三月的过客采纳，获得10

5分钟前; Jasper上传了应助文件

5分钟前; 善良的冰颜完成签到，获得积分10

6分钟前; 十三月的过客发布了新的文献求助10

6分钟前; 小鑫完成签到，获得积分10

7分钟前; 小鑫发布了新的文献求助10

7分钟前; 披着羊皮的狼完成签到，获得积分0

7分钟前; 梦游菌完成签到，获得积分10

7分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

7分钟前; 研友_LmVygn完成签到，获得积分10

7分钟前