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 Negative tone molecular resists using cationic polymerization: Comparison of epoxide and oxetane functional groups 使用阳离子聚合的负色调分子抗蚀剂：环氧化物和氧杂环丁烷官能团的比较
相关领域
环氧乙烷
抵抗
阳离子聚合
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材料科学
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聚合物
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催化作用
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Richard A. Lawson; David E. Noga; Todd R. Younkin; Laren M. Tolbert; Clifford L. Henderson 出版日期：2009-11-01 |
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