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Size-Controlled Fabrication of Silicon Nanopore Arrays by Silver-Assisted Chemical Etching 银辅助化学刻蚀尺寸可控的硅纳米孔阵列制备
相关领域
纳米孔
蚀刻(微加工)
材料科学
反应离子刻蚀
硅
纳米技术
各向同性腐蚀
制作
黑硅
光电子学
图层(电子)
医学
替代医学
病理
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