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标题
[高分] Randomness of Polymer Microstructure in the Resist Film as Shot Noise
抗蚀剂薄膜中聚合物微观结构的随机性作为散粒噪声
相关领域
抵抗 极端紫外线 极紫外光刻 材料科学 散粒噪声 GSM演进的增强数据速率 波长 光学 临界尺寸 随机性 极值理论 噪音（视频） 聚合物 表面光洁度 纳米技术 光电子学 图像（数学） 复合材料 计算机科学 物理 统计 数学 激光器 计算机视觉 探测器 图层（电子）
网址
https://www.jstage.jst.go.jp/article/photopolymer/34/1/34_55...
AI链接 go.jp go.jpdoi.org
DOI
10.2494/photopolymer.34.55 doi
其它 期刊：Journal of Photopolymer Science and Technology
作者：Makoto Muramatsu; Arisa Hara; Satoru Shimura; Hidetami Yaegashi
出版日期：2021-06-11
求助人
一只鱼 在 2025-10-27 08:31:50 发布自福建，悬赏 150 积分
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