Silicon nanowires: the promoter of performance improvement of microplasma in a microcavity array device

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标题	Silicon nanowires: the promoter of performance improvement of microplasma in a microcavity array device 硅纳米线：微腔阵列器件中微等离子体性能改善的促进剂相关领域微等离子体光电子学纳米线硅纳米线材料科学纳米技术物理等离子体量子力学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/abde1b
DOI	10.1088/1361-6595/abde1b doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Xiaoqin Ma; Yaogong Wang; Li-Chi Chen; Long Hu; Wenjiang Wang; et al 出版日期：2021-01-20
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