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 Preliminary growth of metallic co films by thermal atomic layer deposition using RCpCo(CO)2 and alkylamine precursors RCpCo（CO）2和烷基胺前驱体热原子层沉积初步生长金属co薄膜
相关领域
原子层沉积
材料科学
钴
金属
环戊二烯基络合物
化学工程
退火（玻璃）
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期刊：Materials Letters 作者：Xuan Zhong; Zhixin Wan; Bin Xi 出版日期：2021-12-29 |
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