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Preliminary growth of metallic co films by thermal atomic layer deposition using RCpCo(CO)2 and alkylamine precursors RCpCo(CO)2和烷基胺前驱体热原子层沉积初步生长金属co薄膜
相关领域
原子层沉积
材料科学
钴
金属
环戊二烯基络合物
化学工程
退火(玻璃)
基质(水族馆)
结晶
薄膜
无机化学
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期刊:Materials Letters 作者:Xuan Zhong; Zhixin Wan; Bin Xi 出版日期:2021-12-29 |
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