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Monolithic three‐dimensional integration of aligned carbon nanotube transistors for high‐performance integrated circuits 用于高性能集成电路的取向碳纳米管晶体管的单片三维集成
相关领域
材料科学
跨导
制作
光电子学
碳纳米管
晶体管
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电容
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期刊:InfoMat 作者:Chenwei Fan; Xinlai Cheng; Lin Xu; Maguang Zhu; Shuting Ding; et al 出版日期:2023-04-24 |
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