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标题
A comprehensive review on the fabrication of glass microstructures via wet bulk micromachining in HF-based etchants with different masks
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2025.117194
DOI
10.1016/j.sna.2025.117194 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A-physical
作者：Robbi Vivek Vardhan; Vishal Sahu; Priyanka Dewangan; Yogesh Kumar Srivastava; Prem Pal
出版日期：2025-10-25
求助人
陈勇 在 2025-11-14 15:54:42 发布自安徽，悬赏 10 积分
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