Classification, performance and recycling of ceria-based materials used for chemical mechanical polishing

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标题	Classification, performance and recycling of ceria-based materials used for chemical mechanical polishing
网址	http://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2026/NR/D5NR04766H
DOI	10.1039/d5nr04766h doi
其它	期刊：Nanoscale 作者：Meiwen Tie; Yifei Wang; Cheng Zhang; Xiubing Huang 出版日期：2026-01-26
求助人	如意秋柳在 2026-03-01 16:28:31 发布自陕西，悬赏 40 积分
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