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  Fast and accurate measurement of high aspect ratio MEMS trench array with optical lattice illumination 光栅照明快速精确测量高深宽比MEMS沟槽阵列
相关领域
沟槽
光学
材料科学
轴棱锥
微电子机械系统
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光电子学
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图层（电子）
激光束
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期刊：Microsystems & Nanoengineering 作者：Xu Li; Xinqi Sui; Dengfeng Kuang 出版日期：2025-08-28 |
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