Si-based MEMS resonant sensor: A review from microfabrication perspective - 科研通

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标题	Si-based MEMS resonant sensor: A review from microfabrication perspective 相关领域微加工微电子机械系统制作谐振器数码产品材料科学硅电子工程纳米技术工程类电气工程光电子学医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1016/j.mejo.2021.105210
DOI	10.1016/j.mejo.2021.105210 doi
其它	期刊：作者：Gulshan Verma; Kunal Mondal; Ankur Gupta 出版日期：2021-10-21
求助人	美满的书南在 2025-12-01 15:52:04 发布自湖北，悬赏 10 积分
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